BME VIK - Chiptervezés laboratórium

3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Dr. Szabó Péter Gábor,

4. A tantárgy előadója

Tárgy előadói
(név, beosztás, tanszék)

Dr. Szabó Péter Gábor, egyetemi docens, EET
Dr. Pálovics Péter, tudományos segédmunkatárs, EET

5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít -

6. Előtanulmányi rend

Kötelező:

NEM
(TárgyEredmény( "BMEVIEEMA03", "jegy" , _ ) >= 2
VAGY
TárgyEredmény("BMEVIEEMA03", "FELVETEL", AktualisFelev()) > 0)

A fenti forma a Neptun sajátja, ezen technikai okokból nem változtattunk.

A kötelező előtanulmányi rend az adott szak honlapján és képzési programjában található.

Ajánlott:

Kötelező	-
Ajánlott	Chiptervezés: aláírás

7. A tantárgy célkitűzése A laboratórium tárgy célja, hogy lehetőséget teremtsen a Chiptervezés tárgy során elsajátított elméleti ismeretek gyakorlati alkalmazására és az ott szerzett tudás elmélyítésére, valamint készség szintre történő emelésére. A laboratóriumi munka során a hallgatók korszerű mikrorendszerek (MEMS) tervezésének modern, számítógépes tervezőrendszerekkel és korszerű szimulációs környezetekkel támogatott módszereivel ismerkednek meg. Egy, a szemeszter során esettanulmány jellegű (egyedileg vagy csapatban) megoldandó tervezési projektfeladat segítségével a laboratóriumi munka során a hallgatók készség szinten elsajátítják a tervezőrendszerek használatát. A feladat elvégzése során azokkal az ipari projektekben is felmerülő problémákkal szembesülnek, amelyek megoldásához magas szintű problémamegoldó képesség szükséges, amelyet ezen laborgyakorlatokon szerezhetnek meg. A megtervezett eszközök a specifikációban foglaltaknak megfelelő működését különböző szimulációs eljárásokkal igazolják, amely módszerek más, a mikroelektronikában felmerülő kérdésre is választ adhat.

8. A tantárgy részletes tematikája

Az előadások részletes tematikája
A választott projektfeladat jellegének megfelelően MEMS design flow-n végig haladva történik a mikroelektronikai tervezőrendszerek bemutatása. A tárgyhoz előadás nem tartozik.
A gyakorlatok/laborok részletes tematikája
A MEMS tervezés projektfeladat során a hallgatók megismerkednek az iparban elterjedten alkalmazott, korszerű MEMS tervező és modellező rendszerekkel. A MEMS eszköz végeselemes mechanikai szimulációit FEM eszköz segítségével hajtják végre a hallgatók. 1. hét: Ismerkedés MEMS tervezőrendszerekkel; 2. hét: Egy széleskörűen használt tervezőrendszer használatának elsajátítása. 3. hét: Ismerkedés a MEMS tervezésben használatos szimulációs módszerekkel. 4-14. hét: Önálló tervezési projektfeladat végrehajtása a bemutatott tervező programok (pl. ANSYS) egyikével 4. hét: A megvalósítandó MEMS eszköz kiválasztása az előzetes specifikációnak megfelelően 5. hét: A MEMS eszköz az előállításához alkalmazott gyártástechnológia részletes megismerése, kidolgozása 6-7. hét: A MEMS eszköz 3D geometriai modelljének elkészítése 8-9. Hét: Szimulációs környezet beállítása csatolt szimulációk futtatása 10-11. hét: FEM szimulációk futtatása különböző kialakítások (változó geometriai- és anyagparaméterek) és gerjesztések mellet 12-13. hét: szimulációs eredmények exportálása, előzetes számításokkal és becslésekkel való összevetése 14. hét: Féléves munka prezentálása

9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) Az tantárgy keretében MEMS tervező rendszerek megismerése és a projektfeladat elkészítése a tanszéki számítógépes laborban zajlik.

10. Követelmények A tárgy félévközi jeggyel zárul. A jegy megadásának feltétele a félév során kiadott részfeladatok mindegyikének legalább elégséges szintű megoldása. A feladatok zárása az addigi munka bemutatását jelenti, a hallgatók által szabadon választott szemléltető eszközök (pl. dokumentáció, prezentáció) segítségével. A félévközi jegyet a végzett munka és a beadott feladatok alapján adjuk.

11. Pótlási lehetőségek A kiadott részfeladatok legfeljebb 30%-a a pótlási héten, külön eljárási díj fejében pótolhatók.

12. Konzultációs lehetőségek Az laborvezetőkkel történő egyeztetés alapján.

13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

Elektronikusan elérhető fóliák, oktató által készített segédanyagok.

Tanszéki elektronikus jegyzetek a tanszéki tanulmányi felületről.

Kaajakari, Ville. Practical MEMS: Design of microsystems, accelerometers, gyroscopes, RF MEMS, optical MEMS, and microfluidic systems

Korvink, Jan and Paul, Oliver. MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications.

14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka

A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka
Kontakt óra	42
Félévközi készülés órákra	78
Felkészülés zárthelyire	0
Házi feladat elkészítése	30
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása	0
Vizsgafelkészülés	0
Összesen	150

15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

A tantárgy tematikáját kidolgozta
(név, beosztás, tanszék)

Dr. Bognár György, egyetemi docens, EET

Dr. Szabó Péter Gábor, egyetemi docens, EET

Dr. Takács Gábor, adjunktus, EET