Belépés címtáras azonosítással
magyar nyelvű adatlap
Szilárdtest eszközök gyártástechnológiája
A tantárgy angol neve: Technology of Solid State Devices
Adatlap utolsó módosítása: 2009. október 26.
Tantárgy lejárati dátuma: 2012. június 1.
Mikroelektronika, Elektronikai technológia
Áttekintés adása a szilárdtest eszközök (félvezető eszközök) gyártás technológiáiról, részint az alkalmazás, részint a megvalósítás szemszögéből. A tárgy alapvető ismereteket nyújt a planáris technológia számos alkalamazásáról a napelemektől kezdve a bonyolultabb áramköri elemek, IC-k, MEMS eszközök és LED-ek kialakítási módjairól.
A Si alapú technológia alaplépései (alapanyag előállítása és minősítése, tisztítási, oxidnövesztési, diffúziós, rétegleválasztási, fotolitográfia, fémezési és szerelési műveletek).
A méretcsökkentés hatásai és technológiai vonatkozásai.
Monolit technológiával realizálható eszközök és áramkörtípusok (diszkrét bipoláris és MOS eszközök, teljesítmény eszközök, IGBT), integrált bipoláris, MOS és BiCMOS áramkörök, analóg és digitális integrált áramkörök, processzorok (katalógus IC, fogyasztói tervezésű és FPGA áramkörök), memóriák (ROM, PROM, EPROM, SRAM, DRAM).
Bevezetés a MEMS eszközök világába; érzékelők és beavatkozók működése és megvalósítása. Különböző Si alapú érzékelők bemutatása példákon.
Az intelligens környezet hardver elemeinek megvalósítási lehetőségei. Érzékelők és jeleik feldolgozása. Öntápláló szenzorok: az energia kinyerés lehetőségei a környezetből.
Vegyületfélvezetők gyártástechnológiája, lézerek, LED-ek gyártása, minősítése.
Napelemek és nagyüzemi gyártásuk.
Egy egyszerű MOS technológia és egy napelemgyártási technológia konkrét áttekintése.
Nagyságrendek, koncentrációk, méretviszonyok az IC technikában. Adalékolások, fajlagos ellenállások, potenciálok különféle szilárdtest eszközökben, C-V görbe kiértékelési gyakorlat (adalékolás, felületi és határfelületi jellemzők számítása pn átmenet, illetve MOS rendszer C-V görbéiből).
IC és MEMS layout és szerkezet elemzés, VLSI áramkörök jellegzetes alkatrész elrendezési elvei. LED-ek vizsgálata. Napelemek karakterisztikája.
a. A szorgalmi időszakban: Az aláírás feltétele egy zárthelyi dolgozat min. elégségesre való megírása. A zárthelyi osztályzata a vizsgajegy kerekítését befolyásolja.
b. A vizsgaidőszakban: A tárgy írásbeli vizsgával zárul.
c. Elővizsga: van
A tárgy oktatóinál e-mailen történő bejelentkezés alapján.
G. S. May, C. J. Spanos: Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control, John Wiley, 2006.
G.E. McGuire: Semiconductor materials and process technology handbook, Noyes Publications, 1988.
Mikroelektronika és technológia, Mojzes Imre szerk., Műegyetemi Kiadó, Bp. 2006
