BME VIK - Monolit technika

magyar nyelvű adatlap

vissza a tantárgylistához nyomtatható verzió

Monolit technika

A tantárgy angol neve: Microeletronics Technology

Adatlap utolsó módosítása: 2014. április 29.

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Villamosmérnöki és Informatikai Kar

Villamosmérnöki Szak

Mikroelektronika és elektronikai technológia szakirány,

Mikroelektronika szakág

Tantárgykód	Szemeszter	Követelmények	Kredit	Tantárgyfélév
VIEEA329	6	3/1/0/v	4

3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Kerecsen Istvánné,

4. A tantárgy előadója

Név:	Beosztás:	Tanszék, Int.:
Dr. Mizsei János	Egyetemi Tanár	Elektronikus Eszközök Tsz
Dr. Zólomy Imre	Egyetemi Tanár	Elektronikus Eszközök Tsz

5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

Mikroelektronika

6. Előtanulmányi rend

Kötelező:

(Szakirany("AVIelektro", _) VAGY
Szakirany("AVImikro", _) )

ÉS NEM ( TárgyEredmény( "BMEVIEEAC02" , "jegy" , _ ) >= 2
VAGY
TárgyEredmény("BMEVIEEAC02", "FELVETEL", AktualisFelev()) > 0)

A fenti forma a Neptun sajátja, ezen technikai okokból nem változtattunk.

A kötelező előtanulmányi rend az adott szak honlapján és képzési programjában található.

Ajánlott:

Mikroelektronika

7. A tantárgy célkitűzése

Áttekintés adása a monolit félvezető technológiákról, részint az alkalmazás, részint a megvalósítás szemszögéből. A monolit áramkörök szerkezetének ismerete segít a megfelelő eszközök kiválasztásában, gyártási lépéseinek ismerete pedig segit a fejlesztési igények megfogalmazásában.

8. A tantárgy részletes tematikája

Az előadott anyag

Monolit technológia alaplépései (alapanyag előállítása és minősítése, tisztítási, oxidnövesztési, diffúziós, ionimplantációs, rétegleválasztási, fotolitográfiai, fémezési és szerelési műveletek).

A méretcsökkentés hatásai és technológiai vonatkozásai

Monolit technológiával realizálható eszközök és áramkörtípusok (diszkrét bipoláris és MOS eszközök, teljesítmény eszközök, IGBT), integrált bipoláris, MOS és BiCMOS áramkörök, analóg és digitális integrált áramkörök, processzorok (katalógus IC, fogyasztói tervezésű és FPGA áramkörök), memóriák (ROM, PROM, EPROM, SRAM, DRAM).

Bevezetés a MEMS eszközök világába; érzékelők és beavatkozók működése és megvalósítása.

Az intelligens környezet hardver elemeinek megvalósítási lehetőségei. Érzékelők és jeleik feldolgozása. Öntápláló szenzorok: az energia kinyerés lehetőségei a környezetből.

Tantermi gyakorlatok:

Nagyságrendek, koncentrációk, méretviszonyok a monolit IC technikában. Adalékolások, fajlagos ellenállások, potenciálok különféle monolit szerkezetekben, C-V görbe kiértékelési gyakorlat (adalékolás, felületi és határfelületi jellemzők számítása pn átmenet, illetve MOS rendszer C-V görbéiből).

IC és MEMS layout és szerkezet elemzés, VLSI áramkörök jellegzetes alkatrész elrendezési elvei.

9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) Előadás, tantermi gyakorlatok, laboratóriumi demonstrációk.

10. Követelmények

a. A szorgalmi időszakban: az előadások 70%-án való részvétel a félév végi aláírás feltétele, ezt katalógus tartásával ellenőrizzük. A gyakorlati foglalkozások összóraszámának 30%-át meghaladó hiányzás esetén a tantárgy kreditpontja nem szerezhető meg. Az aláírás feltétele továbbá egy zárthelyi dolgozat elégségesre való megírása. A zárthelyi osztályzata a vizsgajegy kerekítését befolyásolja.

b. A vizsgaidőszakban:

c. Elővizsga: a tárgyból tartunk elővizsgát

11. Pótlási lehetőségek

A TVsz szerint.

12. Konzultációs lehetőségek

E-mailen történő bejelentkezés alapján.

13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom -

14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka

Kontakt óra	56
Félévközi készülés órákra	14
Felkészülés zárthelyire	8
Házi feladat elkészítése
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása	10
Vizsgafelkészülés	32
Összesen	120

15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

Név:	Beosztás:	Tanszék, Int.:
Dr. Mizsei János	Egyetemi tanár	Elektronikus Eszközök Tsz
Dr. Zólomy Imre	Egyetemi tanár	Elektronikus Eszközök Tsz

Budapest University of Technology and Economics, Faculty of Electrical Engineering and Informatics

Monolit technika