Monolit Integrált áramkörök készitése

A tantárgy angol neve: Manufacturing Monolithic Integrated Circuits

Adatlap utolsó módosítása: 2006. július 1.

Tantárgy lejárati dátuma: 2009. november 24.

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Villamosmérnöki és Informatikai Kar

Villamosmérnöki Szak

Műszaki informatika Szak

Választható tárgy
Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
VIEE9208 6,8 0+0+2 v 2.5 1/1
4. A tantárgy előadója

Név:

Beosztás:

Tanszék, Int.:

Timárné Horváth Veronika

Egyetemi adjunktus

Elektronikus Eszközök Tsz

Dr. Mizsei János

Egyetemi docens

Elektronikus Eszközök Tsz.
5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

Mikroelektronika és technológia, Elektronika

6. Előtanulmányi rend
Ajánlott:
7. A tantárgy célkitűzése

A monolit IC technológia alapvető eljárásainak elméleti és gyakorlati bemutatása a lehető legegyszerűbb formában úgy, hogy a teljes technológiai folyamat viszonylag rövid idő alatt (7x4 labor óra) áttekinthető, és végigvihető legyen

8. A tantárgy részletes tematikája

Monolit IC készítése: szelet előkészítés, oxidálás, ablaknyitás fotoreziszt technikával, diffúzió, fémréteg felvitele, hőkezelések, tokba szerelés, minősítő mérések: az eszközök karakterisztikáinak felvétele.

9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium)

Elméleti előkészítés (bevezető előadás) után minden csoport (4-6 fő) végigvisz egy-egy szilícium szeletet a technológiai lépéssorozaton, ahol lehetséges, minősíti az elvégzett eljárás eredményét, végül a kész áramkört. (A laborműveletek időbeosztását a csoportokkal közös megbeszélés alapján alakítjuk ki).

10. Követelmények
  1. A szorgalmi időszakban:

  2. Valamennyi technológiai lépés végigvitele, a vizsgaidőszakban az elmaradt művelet pótlására nincs lehetőség. A szorgalmi időszakban megbeszélés alapján pótlás lehetséges

  3. A vizsgaidőszakban:

  4. A tárgy vizsgajeggyel zárul, melyet írásbeli vizsgán lehet megszerezni.

  5. Elővizsga:

Elővizsgára az utolsó oktatási héten lesz lehetőség, melynek feltétele valamennyi technológiai művelet maradéktalan teljesitése.

d. Munkamennyiség: 30 kontakt óra +10 óra felkészülés

13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

Kéziratos segédanyagok

Mikroelektronika és elektronikai technológia

Dr. Mojzes Imre (szerk.) Műszaki Könyvkiadó, 1994.

15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

Név:

Beosztás:

Tanszék, Int.:

Timárné Horváth Veronika

Egyetemi adjunktus

Elektronikus Eszközök Tsz

Dr.Mizsei János

Egyetemi docens

Elektronikus Eszközök Tsz.