Budapest University of Technology and Economics, Faculty of Electrical Engineering and Informatics

    Belépés
    címtáras azonosítással
    vissza a tantárgylistához   nyomtatható verzió    

    Monolit Integrált áramkörök készitése

    A tantárgy angol neve: Manufacturing Monolithic Integrated Circuits

    Adatlap utolsó módosítása: 2006. július 1.

    Tantárgy lejárati dátuma: 2009. november 24.

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
    Villamosmérnöki és Informatikai Kar

    Villamosmérnöki Szak

    Műszaki informatika Szak

    Választható tárgy
    Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
    VIEE9208 6,8 0+0+2 v 2.5 1/1
    4. A tantárgy előadója

    Név:

    Beosztás:

    Tanszék, Int.:

    Timárné Horváth Veronika

    Egyetemi adjunktus

    Elektronikus Eszközök Tsz

    Dr. Mizsei János

    Egyetemi docens

    Elektronikus Eszközök Tsz.
    5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

    Mikroelektronika és technológia, Elektronika

    6. Előtanulmányi rend
    Ajánlott:
    7. A tantárgy célkitűzése

    A monolit IC technológia alapvető eljárásainak elméleti és gyakorlati bemutatása a lehető legegyszerűbb formában úgy, hogy a teljes technológiai folyamat viszonylag rövid idő alatt (7x4 labor óra) áttekinthető, és végigvihető legyen

    8. A tantárgy részletes tematikája

    Monolit IC készítése: szelet előkészítés, oxidálás, ablaknyitás fotoreziszt technikával, diffúzió, fémréteg felvitele, hőkezelések, tokba szerelés, minősítő mérések: az eszközök karakterisztikáinak felvétele.

    9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium)

    Elméleti előkészítés (bevezető előadás) után minden csoport (4-6 fő) végigvisz egy-egy szilícium szeletet a technológiai lépéssorozaton, ahol lehetséges, minősíti az elvégzett eljárás eredményét, végül a kész áramkört. (A laborműveletek időbeosztását a csoportokkal közös megbeszélés alapján alakítjuk ki).

    10. Követelmények
    1. A szorgalmi időszakban:

    2. Valamennyi technológiai lépés végigvitele, a vizsgaidőszakban az elmaradt művelet pótlására nincs lehetőség. A szorgalmi időszakban megbeszélés alapján pótlás lehetséges

    3. A vizsgaidőszakban:

    4. A tárgy vizsgajeggyel zárul, melyet írásbeli vizsgán lehet megszerezni.

    5. Elővizsga:

    Elővizsgára az utolsó oktatási héten lesz lehetőség, melynek feltétele valamennyi technológiai művelet maradéktalan teljesitése.

    d. Munkamennyiség: 30 kontakt óra +10 óra felkészülés

    13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

    Kéziratos segédanyagok

    Mikroelektronika és elektronikai technológia

    Dr. Mojzes Imre (szerk.) Műszaki Könyvkiadó, 1994.

    15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

    Név:

    Beosztás:

    Tanszék, Int.:

    Timárné Horváth Veronika

    Egyetemi adjunktus

    Elektronikus Eszközök Tsz

    Dr.Mizsei János

    Egyetemi docens

    Elektronikus Eszközök Tsz.